Droge vacuümpompen nemen voornamelijk de volgende vormen aan:
Tweeling-kwabtype
Het ontwerp van het type met dubbele- lobben lijkt sterk op dat van de Roots-pomp, momenteel het meest populaire en meest gebruikte type. Enkele van de vroegste concepten voor droge pompontwerpen bestonden feitelijk uit het op elkaar stapelen van meerdere Roots-pompen. Dit ontwerp met meerdere- fasen resulteert in een nogal complex gasstroompad, en elke fase vereist een aanzienlijke stroom stikstofgas om zowel als verdunningsmiddel als als barrière te dienen. Om een hoge mate van vacuüm te bereiken zijn bovendien uiterst strikte toleranties met betrekking tot de spelingen tussen de trappen vereist. Omdat dit ontwerp de interne compressieverhouding verhoogt, is het energieverbruik uiteraard relatief laag.
Tri--kwabtype
Het werkingsprincipe van het drie--lobbentype is identiek aan dat van het twee--lobbentype; het enige verschil is dat het gas tijdens een enkele rotatie wordt verdeeld in drie afzonderlijke pakketten-in plaats van twee, zoals het geval is bij het ontwerp met dubbele- lobben. Bijgevolg delen deze twee ontwerpen dezelfde reeks voor- en nadelen. Om het energieverbruik verder terug te dringen, kiezen sommige fabrikanten ervoor om twee gelijkstroommotoren in het aandrijfmechanisme te gebruiken; deze aanpak resulteert echter ook in een verminderd koppel en een verminderd vermogen om de pomp opnieuw te starten. Net als bij het ontwerp met twee- lobben, vereist elke fase van het ontwerp met drie- een aanzienlijke stroom stikstofgas om verdunnings- en isolatiefuncties uit te voeren.
Hybride type (wortels + klauw)
Het hybride (Roots + Claw) ontwerp maakt gebruik van een Roots-fase om de pompefficiëntie bij lagere drukniveaus te verbeteren, terwijl een Claw-fase wordt gebruikt om de efficiëntie bij hogere drukniveaus te verhogen. De fundamentele werkingsprincipes en het gasstroompad zijn identiek aan die van de eerder genoemde kwabben-ontwerpen. Sommige fabrikanten kiezen er echter voor om de laatste fase te vervangen door een 'ster-type'-ontwerp; Dankzij deze configuratie kan het gas per rotatie in vijf afzonderlijke pakketten worden verdeeld,-op dezelfde manier als het drie-lobbenontwerp het in drieën verdeelt. Op dezelfde manier vereist elke fase van het hybride ontwerp in veel complexe procestoepassingen een aanzienlijke stroom stikstofgas om als verdunningsmiddel en barrière te dienen.
Type externe compressieschroef
Het ontwerp van het type externe compressieschroef- maakt gebruik van een paar op gelijke afstand van elkaar gelegen schroeven. Deze configuratie minimaliseert de interne compressie en creëert tegelijkertijd het kortst en eenvoudigst mogelijke gasstroompad. Dientengevolge wordt de verblijftijd van het gas in de pompkamer tot een absoluut minimum beperkt. Hoewel dit ontwerp een relatief hoger stroomverbruik met zich meebrengt vanwege de lagere interne compressieverhouding, demonstreert het uitzonderlijke stabiliteit en betrouwbaarheid in een breed scala aan complexe halfgeleiderproductieprocessen. Dit een-ontwerp in één fase stelt minimale en eenvoudige eisen aan het stikstofverbruik, waardoor een uitstekende uitwisselbaarheid tussen verschillende processen wordt gegarandeerd. Bij veel schone processen kan het gebruik van stikstof zelfs geheel achterwege blijven.
Intern comprimerende schroefpompen
Afgezien van het gebruik van een paar niet-isoparametrische schroeven, zijn de fundamentele werkingsprincipes van het intern comprimerende schroefpompontwerp in hoge mate vergelijkbaar met die van het extern comprimerende schroefpompontwerp. De voortdurende vermindering van het volume tussen de schroeven zorgt voor interne compressie. Door deze interne compressie mogelijk te maken, verlaagt dit ontwerp het energieverbruik tot een niveau dat vergelijkbaar is met dat van meer-trapspompen. Bij veel processen-net als bij meer-trapspompen-is deze interne compressie echter zeer gevoelig voor het veroorzaken van fysisch-chemische veranderingen in het gas in het pomplichaam, wat mogelijk kan leiden tot stolling of vloeibaarmaking.
